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高纯氮气在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为9
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高纯二氧化碳主要用于电子工业，医学研究及临床诊断、二氧化碳激光器、检测仪器的校正气及配制其它特种混台气，在聚乙烯聚合反应中则用作调节剂。固态二氧化碳广泛用于冷藏奶制品、肉类、冷冻食品和其它转运中易腐败的食品，在许多工业加工中作为冷冻剂，例如
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高纯氧气是一种无色无臭无味气体，分子式是O2。纯度≥99.995%。尘埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，杂质含量N2≤10cm3/m3，Ar≤5cm3/m3，H2O≤lcm3/m3，CO2≤0.5cm3/m3。无色无臭无味气体。氧不可燃
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高纯乙炔乙炔也叫电石气，在常温常压下为无色、具有弱麻醉和阻止细胞氧化的作用的微毒、易燃气体。工业上，是由一种富含碳酸钙的电石矿发生水解生产乙炔。在空气中爆炸极限2.5%～80%。纯乙炔没有气味，但是由于生产乙炔的电石原料中含有少量钙的硫化物
